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所属地区：深圳市

信息来源：深圳市发展和改革委员会

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战略性新兴产业（半导体与集成电路领域）-产业化扶持计划（核心设备及配套零部件突破）

申报时间： 2025-10-01 ～ 2025-10-31

阅读人次： 177

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产业类别

集成电路新材料电子信息

申请条件

一、申报基本条件（一）项目单位须是在深圳市（含深汕特别合作区）依法经营，具备独立法人资格的企业、事业单位、社会团体或民办非企业等机构。（二）从事本申报指南支持领域相关产业研发、生产和服务活动，符合相关扶持政策及申报指南要求。（三）项目单位未违反国家、省、市联合惩戒政策和制度规定，未被列入严重失信主体名单。（四）除集成电路设计流片、国产EDA工具推广应用、高端芯片产品突破、核心设备及配套零部件突破、关键制造封装材料突破、化合物半导体技术水平提升、尖端前沿技术突破中的重大项目、创新能力建设、国家项目配套，以及注册许可认证、临床试验、展会论坛活动扶持计划类外，项目建设期不早于2025年4月30日，建设期一般不超过3年，截至项目申报之日（以附件《项目基本情况表》所填时间为准），项目已完成投资额占总投资比例不得超过20%。（五）项目资金已落实（自有资金证明+银行贷款承诺＋银行贷款≥项目总投资，其中自有资金不低于项目总投资的30%）。（六）项目应符合国家产业政策，落实节能、降碳、环保、安全等要求，落实项目建设场地。（七）项目的财务核算和实施地在深圳市（含深汕特别合作区）。二、扶持方向支持开展刻蚀、薄膜沉积、量测检测等核心设备及配套零部件技术研发。三、申报要求（1）须满足申报通知明确的申报基本条件，详见申报通知。（2）项目单位应拥有专业化的技术及管理团队，财务制度健全，具有较高水平的研发成果和技术储备，经营管理状况良好。（3）为国产设备提供验证服务的集成电路产线、中试线、实验线，验证服务费用的收取日期需在2025年1月1日及以后，具体以银行收款日期为准；核心设备及零部件首次投入产线使用的日期需在2025年1月1日及以后。

支持力度

（1）对于我市集成电路产线、中试线、实验线为国产设备提供验证服务的，通过专家评审后，按照验证服务费用的30%给予产线、中试线、实验线所属单位资助，最高不超过200万元。若集成电路产线、中试线、实验线为同一研制单位的同一型号设备提供多次验证服务的，仅对其首次验证服务给予资助。（2）对于核心设备及零部件首次投入产线使用的设备研制单位，通过专家评审后，按经评审核定的产品研发投入（仅包括用于研发的设备、材料、人力资源投入）的30%给予研制单位资助，单一型号设备及零部件最高不超过1000万元，同一研制单位最高不超过3000万元。以上项目采取事后一次性资助方式。

申请材料

（1）资金申请报告。（2）对于为国产设备提供验证服务的集成电路产线、中试线、实验线所属单位，还需提供已验证的产品名称（型号）、国产设备研制单位、功能、主要技术指标等信息；验证服务合同、银行收款凭证等相关材料；用于证明验证服务内容、过程和结果的验证报告；国产设备的相关证明材料，如设备的技术说明书、知识产权证明等。（3）对于研制核心设备及零部件并首次投入产线使用的单位，需提供核心设备及零部件的知识产权证明等；半导体与集成电路制造企业出具的设备及零部件首次投入产线使用的证明材料，包括使用时间、使用情况、使用效果等。

项目来源

深圳市发展和改革委员会关于发布2025年第二批战略性新兴产业专项资金项目申报指南的通知 https://fgw.sz.gov.cn/zwgk/qt/tzgg/content/post_12423025.html

【申报通知】深圳市发展和改革委员会关于发布2025年第二批战略性新兴产业专项资金项目申报指南的通知

发布时间：2025-09-30

项目类别：新兴产业、科研立项、重大项目、配套资助

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